模块三 扩散制结
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3.1 扩散制结原理
3.1.1 掺杂与p-n结的形成
3.1.2 扩散的基本原理
3.1.3 扩散的方式
3.2 扩散制结工艺流程
3.2.1 企业扩散制结工艺流程
3.2.2 扩散制结影响因素分析
3.2.3 扩散后检测
3.3 扩散制结操作与监控
3.3.1 扩散制结工艺步骤
3.3.2 扩散设备
3.3.3 扩散车间生产作业规范
3.3.4 不良片与返工作业
习 题
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